檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "林顯群".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="微環境"
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本論文以潔淨室中微環境為主要研究方向,深入探討其中之高潔淨區域-面板儲存區(0.1μm微粒子),著重於內部流場與污染粒子分佈的探討,期望能在設計潔淨室時,藉助電腦的運算能力來節省所需耗費的財力、物力…